Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop

Die Mikro- und Nanomesstechnik wird vorangetrieben durch die stetigen Fortschritte der Fertigungstechnik. Die Messaufgaben für Mikro- und Nanomesssysteme sind geprägt von zunehmend sinkenden Strukturgrößen und Miniaturisierung der Merkmale bei zugleich zunehmender Dimensionalität. Hochauflösende Mes...

Descripció completa

Dades bibliogràfiques

Autor principal:	Wu, Yiting
Format:	Online
Idioma:	alemany
Publicat:	FAU University Press 2025
Matèries:	Weißlichtinterferometrie Koordinatenmesstechnik Laserinterferometrie Optische Messtechnik optische Strahlablenkung (OBD) Rasterkraftmikroskopie Nanotechnologie taktile Messtechnik thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBN Nanotechnology
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