Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eig...
Sparad:
| Huvudupphov: | |
|---|---|
| Materialtyp: | Online |
| Språk: | tyska |
| Utgiven: |
KIT Scientific Publishing
2021
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| Ämnen: | |
| Länkar: | 34778 |
| Taggar: |
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| _version_ | 1869526052303273984 |
|---|---|
| author | Grund, Thomas |
| author_browse | Grund, Thomas |
| author_facet | Grund, Thomas |
| author_sort | Grund, Thomas |
| collection | Directory of Open Access Books |
| description | Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung. |
| format | Online |
| id | doab-20.500.12854ir-46609 |
| institution | Directory of Open Access Books |
| language | ger |
| publishDate | 2021 |
| publishDateRange | 2021 |
| publishDateSort | 2021 |
| publisher | KIT Scientific Publishing |
| publisherStr | KIT Scientific Publishing |
| record_format | ojs |
| spelling | doab-20.500.12854ir-466092024-04-09T23:15:31Z Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren Grund, Thomas T1-995 Serienfertigung Mikrosystemtechnik Formgedächtnislegierung Ventil Aktorik thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung. 2021-02-11T12:44:45Z 2021-02-11T12:44:45Z 2019-07-30 20:01:59 2010 book 34778 18695183 9783866444966 https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/46609 ger Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik image/jpeg Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International https://www.ksp.kit.edu/9783866444966 KIT Scientific Publishing 10.5445/KSP/1000016593 10.5445/KSP/1000016593 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 9783866444966 IX, 125 p. open access |
| spellingShingle | T1-995 Serienfertigung Mikrosystemtechnik Formgedächtnislegierung Ventil Aktorik thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues Grund, Thomas Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren |
| title | Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren |
| title_full | Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren |
| title_fullStr | Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren |
| title_full_unstemmed | Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren |
| title_short | Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren |
| title_sort | entwicklung von kunststoff mikroventilen im batch verfahren |
| topic | T1-995 Serienfertigung Mikrosystemtechnik Formgedächtnislegierung Ventil Aktorik thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues |
| topic_facet | T1-995 Serienfertigung Mikrosystemtechnik Formgedächtnislegierung Ventil Aktorik thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues |
| url | 34778 |
| work_keys_str_mv | AT grundthomas entwicklungvonkunststoffmikroventilenimbatchverfahren |