MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden...
Shranjeno v:
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| Jezik: | nemščina |
| Izdano: |
KIT Scientific Publishing
2021
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| Teme: | |
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| Oznake: |
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| description | Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben. |
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| spelling | doab-20.500.12854ir-541822024-04-09T23:16:37Z MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren Bär, Manfred [Hrsg.] T1-995 Optischer Sensor thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben. 2021-02-11T20:27:02Z 2021-02-11T20:27:02Z 2019-07-30 20:02:01 2006 book 35452 16145267 3937300953 https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/54182 ger Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik image/jpeg Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International https://www.ksp.kit.edu/3937300953 KIT Scientific Publishing 10.5445/KSP/1000003769 10.5445/KSP/1000003769 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 3937300953 XVIII, 91 p. open access |
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