Lithography

Lithography, the fundamental fabrication process of semiconductor devices, plays a critical role in micro- and nano-fabrications and the revolution in high density integrated circuits. This book is the result of inspirations and contributions from many researchers worldwide. Although the inclusion o...

Повний опис

Бібліографічні деталі

Формат:	Online
Мова:	Англійська
Опубліковано:	IntechOpen 2023
Предмети:	Biotechnology thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TD Industrial chemistry and manufacturing technologies::TDC Industrial chemistry and chemical engineering
Онлайн доступ:	ONIX_20231201_9789533070643_14
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!