Entwicklung von Al(1-x)Sc(x)N-basierten BAW-Komponenten für breitbandige Mobilfunkfilter

BAW-Resonatoren erfüllen die kritischen Anforderungen, die für die mobile Kommunikation nötig sind und bieten hochselektive Filteranwendungen. Dennoch stellen Frequenzbänder mit großer Bandbreite eine Herausforderung für die moderne BAW-Technologie dar. In dieser Arbeit wurden BAW-Resonatoren des Sp...

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Bibliografiske detaljer

Hovedforfatter:	Bogner, Andreas
Format:	Online
Sprog:	tysk
Udgivet:	FAU University Press 2025
Fag:	BAW-Bauelement Filterschaltung MEMS Akustischer Resonator Akustischer Filter Hochfrequenzfilter Piezoelektrizität thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBN Nanotechnology thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TG Mechanical engineering and materials::TGP Production and industrial engineering thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TJ Electronics and communications engineering::TJF Electronics engineering thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TJ Electronics and communications engineering::TJK Communications engineering / telecommunications thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TJ Electronics and communications engineering::TJS Sensors
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