Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren

Der Bedarf an mikromechanischen Inertialsensoren zur Messung von Drehgeschwindigkeiten und Beschleunigungen ist stark ansteigend. Die Technologie für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bietet hierbei den Vorteil einer hohen Packungsdichte. In dieser Arbeit werden Ansätze auf Systemebene zur Redu...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Oshinubi, Dayo
Format:	Online
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	KIT Scientific Publishing 2021
Schlagworte:	T1-995 Mikromechanik Inertialsensor MEMS energieeffizient Gyro thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues
Online-Zugang:	34457
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