Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...
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| প্রধান লেখক: | |
|---|---|
| বিন্যাস: | Online |
| ভাষা: | জার্মান |
| প্রকাশিত: |
KIT Scientific Publishing
2021
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| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | 35027 |
| ট্যাগগুলো: |
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| author | Stöffler, Dominik |
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| description | In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen. |
| format | Online |
| id | doab-20.500.12854ir-49240 |
| institution | Directory of Open Access Books |
| language | ger |
| publishDate | 2021 |
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| publisher | KIT Scientific Publishing |
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| spelling | doab-20.500.12854ir-492402024-04-04T19:18:58Z Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken Stöffler, Dominik QC1-999 Elektromigration Nanostrukturen Rastersondenmikroskopie Maskenbedampfung Elektronenstrahllithografie thema EDItEUR::P Mathematics and Science::PH Physics In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen. 2021-02-11T15:14:44Z 2021-02-11T15:14:44Z 2019-07-30 20:02:00 2012 book 35027 21919925 9783866448438 https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/49240 ger Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut image/jpeg Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International https://www.ksp.kit.edu/9783866448438 KIT Scientific Publishing 10.5445/KSP/1000027524 10.5445/KSP/1000027524 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 9783866448438 IV, 98 p. open access |
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