Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Stöffler, Dominik
Format:	Online
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	KIT Scientific Publishing 2021
Schlagworte:	QC1-999 Elektromigration Nanostrukturen Rastersondenmikroskopie Maskenbedampfung Elektronenstrahllithografie thema EDItEUR::P Mathematics and Science::PH Physics
Online-Zugang:	35027
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