Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem

In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die...

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Huvudupphov: Auernhammer, Daniel
Materialtyp: Online
Språk:tyska
Utgiven: KIT Scientific Publishing 2021
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Länkar:35395
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description In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.
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spelling doab-20.500.12854ir-504002024-04-09T23:16:19Z Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem Auernhammer, Daniel T1-995 Mikrosystemtechnik Positionsermittlung Ni-Mn-Ga Ferromagnetische Formgedächtnislegierung Ablenksystem thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen. 2021-02-11T16:24:05Z 2021-02-11T16:24:05Z 2019-07-30 20:02:01 2012 book 35395 18695183 9783866448292 https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/50400 ger Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik image/jpeg Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International https://www.ksp.kit.edu/9783866448292 KIT Scientific Publishing 10.5445/KSP/1000027008 10.5445/KSP/1000027008 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 9783866448292 VI, 132 p. open access
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