Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren
Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasiert...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Online |
| Jezik: | nemščina |
| Izdano: |
KIT Scientific Publishing
2021
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| Teme: | |
| Online dostop: | 34493 |
| Oznake: |
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| _version_ | 1869518795129749504 |
|---|---|
| author | Schüle, Sven |
| author_browse | Schüle, Sven |
| author_facet | Schüle, Sven |
| author_sort | Schüle, Sven |
| collection | Directory of Open Access Books |
| description | Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten. |
| format | Online |
| id | doab-20.500.12854ir-53802 |
| institution | Directory of Open Access Books |
| language | ger |
| publishDate | 2021 |
| publishDateRange | 2021 |
| publishDateSort | 2021 |
| publisher | KIT Scientific Publishing |
| publisherStr | KIT Scientific Publishing |
| record_format | ojs |
| spelling | doab-20.500.12854ir-538022024-04-09T23:16:33Z Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren Schüle, Sven T1-995 Mikrosystemtechnik Interferometer LIGA-Mikrosysteme Mikroaktorik modulare Mikrosysteme thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten. 2021-02-11T20:01:29Z 2021-02-11T20:01:29Z 2019-07-30 20:01:58 2010 book 34493 18695183 9783866445291 https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/53802 ger Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik image/jpeg Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International https://www.ksp.kit.edu/9783866445291 KIT Scientific Publishing 10.5445/KSP/1000018509 10.5445/KSP/1000018509 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 9783866445291 176 p. open access |
| spellingShingle | T1-995 Mikrosystemtechnik Interferometer LIGA-Mikrosysteme Mikroaktorik modulare Mikrosysteme thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues Schüle, Sven Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren |
| title | Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren |
| title_full | Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren |
| title_fullStr | Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren |
| title_full_unstemmed | Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren |
| title_short | Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren |
| title_sort | modular adaptive mikrooptische systeme in kombination mit mikroaktoren |
| topic | T1-995 Mikrosystemtechnik Interferometer LIGA-Mikrosysteme Mikroaktorik modulare Mikrosysteme thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues |
| topic_facet | T1-995 Mikrosystemtechnik Interferometer LIGA-Mikrosysteme Mikroaktorik modulare Mikrosysteme thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues |
| url | 34493 |
| work_keys_str_mv | AT schulesven modularadaptivemikrooptischesystemeinkombinationmitmikroaktoren |