トピック: Dämpfung
トピック: Inertialsensor
著者: Kopf, Marlene
類似資料: Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis
- Development of CMOS-MEMS/NEMS Devices
- NMR micro-detectors tailored for multinuclear and electrochemistry lab-on-a-chip applications
- MEMS Accelerometers
- MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application
- State-Of-The- Art Sensors Technology in France 2016
- Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren