Abbildende Ellipsometrie mit Lichtwegumkehrung für die optische Charakterisierung von gekrümmten Oberflächen
Ellipsometry is a measuring method for surface characterization and thin-film measurement of flat surfaces using polarized light. However, a new measuring principle based on return-path ellipsometry and retroreflection enables the detection of free-form surfaces. This new measurement principle and r...
-д хадгалсан:
| Үндсэн зохиолч: | |
|---|---|
| Формат: | Online |
| Хэл сонгох: | герман |
| Хэвлэсэн: |
KIT Scientific Publishing
2023
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| Нөхцлүүд: | |
| Онлайн хандалт: | OCN: 1404765154 |
| Шошгууд: |
Шошго байхгүй, Энэхүү баримтыг шошголох эхний хүн болох!
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|---|---|
| author | Negara, Christian Emanuel |
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| collection | Directory of Open Access Books |
| description | Ellipsometry is a measuring method for surface characterization and thin-film measurement of flat surfaces using polarized light. However, a new measuring principle based on return-path ellipsometry and retroreflection enables the detection of free-form surfaces. This new measurement principle and related questions regarding the measurement function, evaluation algorithms and ambiguities as well as degrees of freedom of the solution set are examined in this work. |
| format | Online |
| id | doab-20.500.12854ir-107945 |
| institution | Directory of Open Access Books |
| language | ger |
| publishDate | 2023 |
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| publisher | KIT Scientific Publishing |
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| spelling | doab-20.500.12854ir-1079452025-05-27T07:48:20Z Abbildende Ellipsometrie mit Lichtwegumkehrung für die optische Charakterisierung von gekrümmten Oberflächen Negara, Christian Emanuel imaging; retroreflection; curved surface; ellipsometry; bildgebend; Retroreflexion; gekrümmte Oberfläche; Ellipsometrie; metrology; Messtechnik thema EDItEUR::U Computing and Information Technology::UY Computer science::UYA Mathematical theory of computation::UYAM Maths for computer scientists Ellipsometry is a measuring method for surface characterization and thin-film measurement of flat surfaces using polarized light. However, a new measuring principle based on return-path ellipsometry and retroreflection enables the detection of free-form surfaces. This new measurement principle and related questions regarding the measurement function, evaluation algorithms and ambiguities as well as degrees of freedom of the solution set are examined in this work. 2023-07-26T22:20:38Z 2023-07-26T22:20:38Z 2023-07-24T09:04:06Z 2023 book OCN: 1404765154 https://library.oapen.org/handle/20.500.12657/64057 9783731513025 https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/107945 ger Schriftenreihe Automatische Sichtprüfung und Bildverarbeitung open access image/jpeg image/jpeg Attribution 4.0 International Attribution 4.0 International https://library.oapen.org/bitstream/20.500.12657/64057/1/abbildende-ellipsometrie-mit-lichtwegumkehrung-fur-die-optische-charakterisierung-von-gekrummten-oberflachen.pdf https://library.oapen.org/bitstream/20.500.12657/64057/1/abbildende-ellipsometrie-mit-lichtwegumkehrung-fur-die-optische-charakterisierung-von-gekrummten-oberflachen.pdf KIT Scientific Publishing 10.5445/KSP/1000158762 10.5445/KSP/1000158762 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 9783731513025 AG Universitätsverlage 324 open access |
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