Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität unte...

पूर्ण विवरण

ग्रंथसूची विवरण

मुख्य लेखक:	Kißling, Stephanie
स्वरूप:	Online
भाषा:	जर्मन
प्रकाशित:	KIT Scientific Publishing 2021
विषय:	T1-995 Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP) Elektropolieren Plasmapolieren Rauheitsmessung Mikrogalvanoformung thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues
ऑनलाइन पहुंच:	35227
टैग:	टैग जोड़ें कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!