Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität unte...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Kißling, Stephanie
Format:	Online
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	KIT Scientific Publishing 2021
Schlagworte:	T1-995 Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP) Elektropolieren Plasmapolieren Rauheitsmessung Mikrogalvanoformung thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues
Online-Zugang:	35227
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