Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen
Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität unte...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
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| Formaat: | Online |
| Taal: | Duits |
| Gepubliceerd in: |
KIT Scientific Publishing
2021
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| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | 35227 |
| Tags: |
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| description | Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet. |
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| spelling | doab-20.500.12854ir-430972024-04-09T23:16:28Z Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen Kißling, Stephanie T1-995 Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP) Elektropolieren Plasmapolieren Rauheitsmessung Mikrogalvanoformung thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet. 2021-02-11T09:47:05Z 2021-02-11T09:47:05Z 2019-07-30 20:02:00 2010 book 35227 18695183 9783866445482 https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/43097 ger Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik image/jpeg Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International https://www.ksp.kit.edu/9783866445482 KIT Scientific Publishing 10.5445/KSP/1000019375 10.5445/KSP/1000019375 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 9783866445482 II, 109 p. open access |
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