Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung
In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and c...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Online |
| Jezik: | nemščina |
| Izdano: |
KIT Scientific Publishing
2021
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| Teme: | |
| Online dostop: | 35638 |
| Oznake: |
Brez oznak, prvi označite!
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|---|---|
| author | Waldbaur, Ansgar |
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| collection | Directory of Open Access Books |
| description | In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and casting. Also, bio-chemical ligand patterns comprising 256 different ligand densities have been created in a few seconds on a 5 mm² substrate with pixel sizes of a few µm. |
| format | Online |
| id | doab-20.500.12854ir-46578 |
| institution | Directory of Open Access Books |
| language | ger |
| publishDate | 2021 |
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| publisher | KIT Scientific Publishing |
| publisherStr | KIT Scientific Publishing |
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| spelling | doab-20.500.12854ir-465782024-04-09T23:16:26Z Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung Waldbaur, Ansgar T1-995 Mikrofluidikchip Rapid Prototyping Mikrospiegelarray Ligandenmuster Lithographie thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and casting. Also, bio-chemical ligand patterns comprising 256 different ligand densities have been created in a few seconds on a 5 mm² substrate with pixel sizes of a few µm. 2021-02-11T12:42:49Z 2021-02-11T12:42:49Z 2019-07-30 20:02:02 2013 book 35638 18695183 9783731501190 https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/46578 ger Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik image/jpeg Attribution-ShareAlike 4.0 International https://www.ksp.kit.edu/9783731501190 KIT Scientific Publishing 10.5445/KSP/1000036845 10.5445/KSP/1000036845 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 9783731501190 XVI, 133 p. open access |
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