Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures

Micromachining is used to fabricate three-dimensional microstructures and it is the foundation of a technology called Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS). Bulk micromachining and surface micromachining are two major categories (among others) in this field. This book presents advances in micromac...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής

Μορφή:	Online
Γλώσσα:	Αγγλικά
Έκδοση:	IntechOpen 2021
Θέματα:	Analytical chemistry thema EDItEUR::P Mathematics and Science::PN Chemistry
Διαθέσιμο Online:	ONIX_20210420_9789533079066_873
Ετικέτες:	Προσθήκη ετικέτας Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!