Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures

Micromachining is used to fabricate three-dimensional microstructures and it is the foundation of a technology called Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS). Bulk micromachining and surface micromachining are two major categories (among others) in this field. This book presents advances in micromac...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
التنسيق: Online
اللغة:الإنجليزية
منشور في: IntechOpen 2021
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:ONIX_20210420_9789533079066_873
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة: Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures