Nanomanufacturing

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Format:	Online
Sprache:	EN
Veröffentlicht:	MDPI AG 2023
Schlagworte:	micro- and nanoelectromechanical systems plasma surface engineering plasma etching laser surface engineering 3d nanomanufacturing photonic and plasmonic devices Manufacturing industries HD9720-9975 Plasma engineering. Applied plasma dynamics TA2001-2040
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