Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik

Es wird die Erarbeitung der Grundlagen, die Entwicklung und Untersuchung eines robusten, genauen, hochfrequent fokusabstandsmodulierten, konfokalen Punktsensors sowie dessen Integration und Validierung in einem Nanokoordinatenmesssystem beschrieben. In Kombination mit einer fasergekoppelten konfokal...

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Detaylı Bibliyografya
Yazar: Gröschl, Andreas
Materyal Türü: Online
Dil:Almanca
Baskı/Yayın Bilgisi: FAU University Press 2025
Konular:
Online Erişim:ONIX_20251120T102856_9783961474363_24
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