Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik

Es wird die Erarbeitung der Grundlagen, die Entwicklung und Untersuchung eines robusten, genauen, hochfrequent fokusabstandsmodulierten, konfokalen Punktsensors sowie dessen Integration und Validierung in einem Nanokoordinatenmesssystem beschrieben. In Kombination mit einer fasergekoppelten konfokal...

Fuld beskrivelse

Bibliografiske detaljer

Hovedforfatter:	Gröschl, Andreas
Format:	Online
Sprog:	tysk
Udgivet:	FAU University Press 2025
Fag:	Koordinatenmesstechnik Sensor Maschinenbau Berührungsloser Sensor Produktionstechnik Ingenieurwissenschaften thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBM Instruments and instrumentation::TBMM Engineering measurement and calibration
Online adgang:	ONIX_20251120T102856_9783961474363_24
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