Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik
Es wird die Erarbeitung der Grundlagen, die Entwicklung und Untersuchung eines robusten, genauen, hochfrequent fokusabstandsmodulierten, konfokalen Punktsensors sowie dessen Integration und Validierung in einem Nanokoordinatenmesssystem beschrieben. In Kombination mit einer fasergekoppelten konfokal...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Online |
| Jazyk: | němčina |
| Vydáno: |
FAU University Press
2025
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| Témata: | |
| On-line přístup: | ONIX_20251120T102856_9783961474363_24 |
| Tagy: |
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