Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik

Es wird die Erarbeitung der Grundlagen, die Entwicklung und Untersuchung eines robusten, genauen, hochfrequent fokusabstandsmodulierten, konfokalen Punktsensors sowie dessen Integration und Validierung in einem Nanokoordinatenmesssystem beschrieben. In Kombination mit einer fasergekoppelten konfokal...

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Hlavní autor: Gröschl, Andreas
Médium: Online
Jazyk:němčina
Vydáno: FAU University Press 2025
Témata:
On-line přístup:ONIX_20251120T102856_9783961474363_24
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