Untersuchungen zur rasterkraft- und konfokalmikroskopischen Charakterisierung nanometrologischer Referenzkörper

Hochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursä...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Hlavní autor:	Schaude, Janik
Médium:	Online
Jazyk:	němčina
Vydáno:	FAU University Press 2025
Témata:	Messtechnik Konfokalmikroskopie Rasterkraftmikroskopie Metrologie thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBM Instruments and instrumentation::TBMM Engineering measurement and calibration
On-line přístup:	ONIX_20251120T103930_9783961477777_47
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!