Untersuchungen zur rasterkraft- und konfokalmikroskopischen Charakterisierung nanometrologischer Referenzkörper
Hochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursä...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Online |
| Լեզու: | գերմաներեն |
| Հրապարակվել է: |
FAU University Press
2025
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| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | ONIX_20251120T103930_9783961477777_47 |
| Ցուցիչներ: |
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|---|---|
| author | Schaude, Janik |
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| collection | Directory of Open Access Books |
| description | Hochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursächlich ist das Fehlen geeigneter Verfahren zur hochgenauen Kalibrierung mikrodimensionaler Referenzkörper sowohl hinsichtlich ihrer Grob- als auch ihrer Feingestalt. In der vorliegenden Arbeit werden zwei diesbezüglich potentiell geeignete Messmethoden präsentiert und untersucht. Dies ist zum einen ein Rasterkraftmikroskop mit einstellbarer Antastrichtung zur Kalibrierung der Feingestalt und zum anderen die bidirektionale Konfokalmikroskopie zur Kalibrierung der Grobgestalt nanometrologischer Referenzkörper. |
| format | Online |
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| institution | Directory of Open Access Books |
| language | ger |
| publishDate | 2025 |
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| publisher | FAU University Press |
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| spelling | doab-20.500.12854ir-1690882025-11-22T05:47:40Z Untersuchungen zur rasterkraft- und konfokalmikroskopischen Charakterisierung nanometrologischer Referenzkörper Schaude, Janik Messtechnik Konfokalmikroskopie Rasterkraftmikroskopie Metrologie thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBM Instruments and instrumentation::TBMM Engineering measurement and calibration Hochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursächlich ist das Fehlen geeigneter Verfahren zur hochgenauen Kalibrierung mikrodimensionaler Referenzkörper sowohl hinsichtlich ihrer Grob- als auch ihrer Feingestalt. In der vorliegenden Arbeit werden zwei diesbezüglich potentiell geeignete Messmethoden präsentiert und untersucht. Dies ist zum einen ein Rasterkraftmikroskop mit einstellbarer Antastrichtung zur Kalibrierung der Feingestalt und zum anderen die bidirektionale Konfokalmikroskopie zur Kalibrierung der Grobgestalt nanometrologischer Referenzkörper. 2025-11-21T05:11:09Z 2025-11-21T05:11:09Z 2025-11-20T09:43:37Z 2024 book ONIX_20251120T103930_9783961477777_47 https://library.oapen.org/handle/20.500.12657/108318 9783961477777 9783961477760 https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/169088 ger FAU Studien aus dem Maschinenbau open access image/jpeg Attribution-NonCommercial 4.0 International https://library.oapen.org/bitstream/20.500.12657/108318/1/9783961477777.pdf FAU University Press 10.25593/978-3-96147-777-7 10.25593/978-3-96147-777-7 2c600dea-eece-4066-87be-da335e323fdb 9783961477777 9783961477760 167 Erlangen open access |
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