Untersuchungen zur rasterkraft- und konfokalmikroskopischen Charakterisierung nanometrologischer Referenzkörper

Hochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursä...

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Bibliographic Details

Main Author:	Schaude, Janik
Format:	Online
Language:	German
Published:	FAU University Press 2025
Subjects:	Messtechnik Konfokalmikroskopie Rasterkraftmikroskopie Metrologie thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBM Instruments and instrumentation::TBMM Engineering measurement and calibration
Online Access:	ONIX_20251120T103930_9783961477777_47
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