Untersuchungen zur rasterkraft- und konfokalmikroskopischen Charakterisierung nanometrologischer Referenzkörper

Hochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursä...

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Бібліографічні деталі

Автор:	Schaude, Janik
Формат:	Online
Мова:	Німецька
Опубліковано:	FAU University Press 2025
Предмети:	Messtechnik Konfokalmikroskopie Rasterkraftmikroskopie Metrologie thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBM Instruments and instrumentation::TBMM Engineering measurement and calibration
Онлайн доступ:	ONIX_20251120T103930_9783961477777_47
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